대한민국 엔지니어상 - 3월 수상자
대한민국 엔지니어상은 산업현장에서 기술혁신을 통하여 국가경쟁력 및 기업의 발전에 크게 기여한 우수 엔지니어를 발굴·포상하는 상입니다.
반도체 웨이퍼 표면의 불순물 제거를 위한 세정장비의 국산화 및 양산화
▲ 오래택 수석연구원 세메스(주)
오래택 수석은 반도체 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하기 위한 세정장비 개발을 통해 수입 대체효과는 물론 관련 원천 기술을 확보한 공로가 인정되어 수상자로 선정되었다.
반도체는 도체와 부도체의 중간 정도의 물질로 외부에서 빛이나 열 또는 불순물을 가해주면 전기가 통하고 또한 조절도 할 수 있는 물질이다.
주로 디지털기기, 생활가전, 스마트폰 등에 활용되고 있으며 4차 산업혁명과 함께 사물인터넷(IoT), 빅데이터, 자율주행차, 지능형 로봇 등과 함께 수요가 계속 증가하고 있다.
반도체는 산화 → 감광 → 노광 → 현상 → 시각 → 이온주입의 반복적인 공정을 통하여 제품이 만들어지는데 이때 전후로 세정공정을 적용시켜 공정 시 발생한 이물질을 제거하여 제품의 수율을 향상시키도록 하고 있다.
반도체 세정은 일반적으로 실리콘기판에 묻은 이물질을 제거하기 위하여 50매 실리콘기판을 약액 수조와 초순수 수조로 이동하면서 이물질을 제거하였으나 동일 수조에서 공정처리를 함으로써 수조 내 교차오염이 발생하며 생산성이 떨어지는 문제가 있었다.
또한 많은 수조를 설치함에 따라 반도체 공장 내 많은 자리를 필요로 하는 문제가 있었다.
이에 오래택 수석은 실리콘기판을 한 장씩 공정처리 할 수 있는 매엽식 세정장비 시스템을 개발하였다.
이 설비는 단일설비로는 최초로 누적 판매대수 1,300대를 넘었으며 반도체 생산성 향상에 큰 도움을 주었다.
오래택 수석은 앞으로도 적재적시에 소비자의 요구를 반영한 기술개발로 최고 수준의 기술력과 원가 경쟁력을 확보하여 국내 반도체 산업 발전에 기여하겠다고 포부를 밝혔다.
대용량 데이터 작업에 최적화된 국산 열 기반 데이터베이스 관리체계 개발
▲ 김인호 연구소장 (주)웨어밸리
국내 최초로 대용량 데이터 저장, 추출, 분석 작업에 최적화 된 국산 열 기반 데이터베이스 관리체계를 개발해 우리나라 데이터 관리 및 보안 분야의 경쟁력을 강화한 점이 인정됐다.
급변하는 정보통신 기술의 발달로 데이터는 기존과 달리 속도, 크기, 다양성 면에서 빅데이터 시대로 접어들었다.
기업은 방대한 양의 데이터를 분석해 전략을 세워야만 치열한 경쟁환경에서 생존할 수 있는 시대가 되었고, 방대한 양의 데이터를 분석·처리하기 위한 기술 및 소프트웨어 제품의 시장도 갈수록 커지고 있다.
김인호 연구소장은 2006년 (주)웨어밸리에 입사하여 약 12년간 데이터베이스 접근제어 제품인 ‘샤크라’, ‘샤크라맥스’를 연구개발 하면서 점점 늘어나고 있는 고객의 방대한 데이터 처리 및 성능 개선을 위해 열 기반 데이터베이스 관리체계에 대해서 고민과 연구개발을 지속하였다.
그 결과 국내 최초 열 기반 데이터베이스 관리체계를 상용화하는 데 성공하였고 현재 페타에스큐엘이라는 이름으로 배포되고 있다.
페타에스큐엘은 실시간 데이터 분석 및 검색 업무에 적합하도록 기존 온라인 트랜잭션 처리 데이터베이스에서 사용하는 행 기반의 저장 방식이 아니라, 온라인 분석 처리에 주로 사용하는 열 기반의 저장 방식을 사용하므로 특정 주제에 맞는 데이터 추출 및 처리의 성능이 기존 방식보다 훨씬 빠르다는 것이 특징이다.
김인호 연구소장은 지속적으로 연구개발 하여 향후 빅데이터 분석을 위한 메모리 기반 데이터 처리 기법을 개발하고 무정지 상태로 확장 가능한 데이터 분석용 데이터베이스로 발전시키는 노력을 계속할 예정이다.