신기술(NET)인증 기술

비씨엔씨(주)
반도체 플라즈마 식각공정용 포커스링 수명 연장 기술

본 기술은 식각공정에서 발생할 수 있는 파티클과 불순물 함량을 감소시킨 합성쿼츠 적용 포커스링 제작 기술이다. 포커스링에 전기전도성이 우수한 금속링을 삽입하여 웨이퍼 엣지 부분에 플라즈마 시각형상이 균일하게 식각되도록 전극링을 삽입하는 포커스링 제작이 가능하다.

특징
① 반도체 공정간 발생하는 파티클의 발생을 최소화하기 위하여 기존 천연쿼츠를 합성쿼츠로 대체 가능
② 전극링을 포커스링에 삽입하여 포커스링 수명을 증대시키며 공정간 안정적인 균일 식각공정 구현 가능

부문 : 전기전자
주 생산품 : 포커스링
개발기간 : 2017. 1. ~ 2020. 12.

지투파워(주)
전류변동 주파수 분석을 통한 태양광 발전시스템의 아크 감시진단 기술

본 기술은 태양광 발전시스템의 직류단 아크 검출 성능 향상을 위해 전류 변동 및 주파수 영역의 전류크기 차이를 이용하여 아크 발생을 조기에 탐지함으로써 태양광 DC 아크 고장을 검출하는 디지털 신호처리 기술이다. 또한 전류변동점 이전의 주파수 스펙트럼 평균치와 변동점 이후의 개별 주파수 스펙트럼을 이용하여 아크를 검출함으로써 인버터 스위칭 노이즈에 의한 오동작을 해소한다.

특징
① 전력변환 장치로부터 발생하는 스위칭 노이즈 주파수 성분 결합에 의한 아크 고장 검출의 오동작 해결 가능
② 아크 고장 발생 시 고장부위 정보 제공으로 신속한 복구 및 평상시 태양광 접속반의 정보 제공을 통해 관리 가능

센서 내부 센서 아크모니터(감시모듈)

부문 : 건설·환경
주 생산품 : 수상태양광 부력체
개발기간 : 2013. 10. ~ 2018. 10.

엘지전자(주)
양면 프로젝션 모아레 패턴 매칭을 이용한 고속 두께 측정 기술

본 기술은 측정 대상물 양면 높이에 따라 달라지는 공간 위치를 자동 매칭하고, 고속/정밀 두께 측정을 위한 양면 프로젝션 모아레 광학계 기술이다.

특징
① 측정 대상물 양면의 3차원 입체 데이터를 비접촉식으로 측정
② 자동 보정 기능을 탑재함으로써 장기적인 측정 안정성 확보

부문 : 전기전자
주 생산품 : 전기전자제품
개발기간 : 2018. 5. ~ 2021. 5.

(재)차세대융합기술연구원 (주)빌드잇 롯데건설(주)
유압잭과 앵커핀 돌출구조를 이용한 시공성과 고정력이 개선된 지주용 앵커기초 기술

본 기술은 가설 구조물의 하중을 무선으로 계측하여 온라인 모니터링을 수행하고 위험 하중 발생 시 알람으로 작업 중단을 경보하여 붕괴를 예방할 수 있고, 블루투스 하중 계측 센서를 활용하여 서포트, 테이블 폼 등 하중 지지용 가설 구조물 체결 및 무선 모니터링을 수행하는 기술이다.

특징
① 무선 하중 계측 센서를 활용, 블루투스 AP 반경 50m이내 위치에 외부전원 없이 설치 및 철거, 시공시 활용 가능
② 감리자의 비상주 상황에서도 안전 감독 관리자가 설치 유무의 확인 가능