해피프리즘 01 - 대한민국 엔지니어상 8월 수상자
대한민국 엔지니어상은 산업현장에서 기술혁신을 통하여 국가경쟁력 및 기업의 발전에 크게 기여한 우수 엔지니어를 발굴·포상하는 상입니다.
불량 분석 및 수리가 가능한 반도체 기억장치 시험 장비 국산화
(주)유니테스트 고병선 책임연구원은 반도체 기억장치에 대한 시험 속도를 최대한 단축하면서 불량 분석 및 수리가 가능한 시험 장비를 개발하여 세계 시장에서 반도체 기억장치 시험 장비의 기술경쟁력을 확보한 공로를 인정받았다.
본 제품은 가격경쟁력과 시험 결과의 신뢰성 또한 확보하였다.
반도체 제조공정의 발전에 따라, 반도체 제조사에서는 반도체 자체의 신뢰성 향상을 위해 불량으로 인한 손실을 최소화하는 방안이 요구되어 왔으며, 신뢰성 및 생산성 향상을 위하여 특수한 기능의 시험 장치가 필요하게 되었습니다.
고병선 책임연구원은 기존 반도체 시험 장치의 문제점을 개선 및 보완하기 위해 반도체 제조업체와 많은 시간 동안 협업 및 연구개발을 수행하였으며, 결국 수천 개의 반도체를 동시에 시험하여 불량 내용을 분석하면서 재사용할 수 있도록 수리 기능을 갖는 시험 장비를 개발하게 되었습니다.
그는 기존 시험 장비의 형태를 탈피한 챔버 형태의 시험 장비를 개발하였으며 시험 환경에서 불량률 감소 및 신뢰성 향상을 위해 온도를 균일하게 유지할 수 있는 방법을 고안하였습니다.
또한 번인 시험(Burn-In Test, 노화현상에 의한 불량을 검출하는 시험)과 코어 시험(Core Test, 기억장치 코어 기능의 불량을 검출하는 시험)으로 분리되어 있는 시험 절차를 통합하여 시험 시간을 단축하고 다수의 반도체 기기를 동시에 시험하는 방법 등을 개발하여 국내외 특허를 등록하였습니다.
본 시험 기술을 국내 반도체 제조 공정에 적용하여 공정 개발 및 공정 단순화 방안을 제시함으로써 반도체 제조 공정의 원가를 절감하는 등 반도체의 제조 경쟁력에 크게 기여할 것으로 기대합니다.
플라즈마화학증착장비(LCD PECVD)의 국산화
이명진 부장은 액정화면(LCD) 패널 생산의 핵심 장비인 플라즈마화학증착장비의 국산화에 성공하여 국가 디스플레이 산업 발전에 기여한 공로를 인정받았다.
경쟁사 제품보다 높은 성능과 생산성을 확보하였으며, 이 기술을 유기발광다이오드 및 태양전지 생산 장비에 응용하면 시장 파급 효과가 더욱 클 것으로 기대된다.
그동안 액정화면(LCD) 패널 생산은 국내 기업이 세계 시장점유율 1위임에도 불구하고 플라즈마화학증착장비(플라즈마를 이용하여 진공상태에서 화학반응을 통해 얇은 막을 입히는 장비)를 100% 외산에 의존해 고가의 수입 장비를 구매할 수밖에 없었습니다.
이에 따라 2000년대 초반부터 현재까지 대면적 LCD 장비 개발을 목표로 4~11세대까지 플라즈마화학증착장비 개발을 완료하고 5~8세대 장비 양산에 성공하였습니다.
이명진 부장은 대면적 디스플레이 장비의 국산화 성공을 통하여 국내 대면적 장비의 기술력을 한 단계 성장시켰으며 국산화를 통한 관련 패널 기업의 가격경쟁력 제고로 디스플레이 산업발전에 이바지하였습니다.
균일분사 구조의 가스 분배기와 5℃ 이내 우수한 온도 균일도를 갖는 대형 열원 등의 고유한 자사 기술을 적용하여 개발한 디스플레이용 대형 진공 증착장비는 해외 경쟁사 제품보다 높은 성능을 가지며 세계 최고의 생산성과 양산성을 확보하였습니다.
대면적 플라즈마화학증착시스템 기술은 유기발광다이오드(OLED) 장비, 태양전지 장비에 응용되어 발전할 수 있는 핵심기술로 유기발광다이오드와 태양전지 장비의 판매 및 매출 증대에 크게 기여할 것으로 기대를 모으고 있습니다.
한편, 그는 “우리나라의 장비 산업이 세계 일등의 경쟁력을 가질 수 있도록 매진하겠다.”고 수상소감을 밝혔습니다.